同軸マクロズーム(STV-2Z)
モデル | IMZ-FA |
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概要 | 同軸落射照明を必要とする、ICウェハ、液晶パターン等の検査用顕微鏡として、マクロな範囲をカバーし、試料に応じた最適倍率の観察像を提供します。 |
特徴 | ・マクロからミクロまで全域をムラの少ない照明で、モニター上の映像も鮮明です。 ・LEDランプ採用の同軸落射照明は、試料の深部まで影のないスッキリした映像が得られ、金属表面のキズ、液晶やガラス膜で覆われた、ハイブリッドIC等の観察に適しています。 ・本体は各種装置装着用として考慮した2種類の固定方式になっています。 |
ズーム比 | 1:6.25 |
倍率 | 0.4×~2.5× |
実視野 | 11.42×8.57mm~1.82×1.37mm ※1/2インチCCDカメラ使用時 |
レンズマウント | Cマウント |
絞り | 可変絞り |